（1）按真空泵結構分類　　　　a、機械式。這類真空泵類似于壓縮機，屬于容積型的有往復式與回轉式結構，還有屬于動力式的渦輪分子泵，它們都屬于抽除式真空泵。　　　　b、噴射泵。有噴射泵與擴散泵兩種形式，還有將二者組合在一起的增壓泵，也都屬于抽除式真空泵。　　　　c、吸著式。依靠物理或化學方法使氣體分子吸著在泵壁表面，屬于捕集式真空泵。　　　 （2）按真空泵的工作原理分類　　　　a、抽除式，真空泵抽吸系統中的氣體，并將氣體分子排至系統之外。　　　　b、捕集式。真空泵捕集系統中的氣體分子，直接吸附在泵工作壁面上而不排出系統。　 （3）按真空泵在系統中的工作職能分類　　　　a、主抽氣泵。實現所要求壓力的主要工作泵。　　　　b、預抽氣泵。當主抽氣泵不能在大氣狀態直接開始抽吸時，需要預抽泵先抽至某一壓力，主抽氣泵方能進入工作。　　　　c、前級泵。當主抽氣泵不能將所抽氣體直接排入大氣時，需串接前級泵排送。　　　　d、維持泵。當主抽氣泵完成所要求的壓力停止工作后，由于系統泄漏或表面蒸發等原因，壓力可能升高，因此用維持泵繼續抽吸。