渦旋式無(wú)油機(jī)械真空泵是從渦旋式壓縮機(jī)演變而來(lái)的一種新型的干式機(jī)械真空泵。渦旋式無(wú)油機(jī)械真空泵的工作原理。構(gòu)成渦旋式真空泵抽氣用渦旋體的曲線(xiàn)為漸開(kāi)線(xiàn)。固定的渦旋體稱(chēng)定子,轉(zhuǎn)動(dòng)的渦旋體稱(chēng)轉(zhuǎn)子。轉(zhuǎn)子無(wú)自轉(zhuǎn)而以一定的回轉(zhuǎn)半徑平動(dòng)公轉(zhuǎn)。隨著轉(zhuǎn)子的平動(dòng)公轉(zhuǎn),在兩個(gè)渦旋體之間形成了吸氣腔和壓縮腔。吸入氣體后的工作腔的容積隨著轉(zhuǎn)子的運(yùn)動(dòng)而縮小,從外圈向中心移動(dòng)排出氣體,連續(xù)完成了吸氣、壓縮和排氣過(guò)程。為了減輕泵渦旋體的重量,其基材用鋁,在表面上涂鍍一層特殊性能的聚四氟乙烯,以增加耐磨性和耐腐蝕性。該泵渦旋體間相鄰工作腔的壓差小,故氣體泄露量小,泵的驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)矩變化小,因此泵的噪昔低、振動(dòng)小。該泵特點(diǎn)是重量輕、體積小,為臥式結(jié)構(gòu),可以從大氣壓力下直接抽到10-1pa,是一種使用范圍很寬的粗抽用干式真空泵。